プロセスガス供給、CMPスラリー、およびクリーンルーム環境制御用の超高純度焼結金属フィルターエレメント — 微細寸法の単一金属粒子がチップ収量目標を低下させるような場合.
半導体の微細化が進むにつれて、粒子状汚染に対する許容度も狭まります。プロセスガスおよび純水サービスでは、フィルターエレメントは、安定した気孔構造、清浄な表面、および運転中のメディア移動のリスクが低いことが選択基準となります。.
焼結ステンレス鋼フィルターエレメントは、粒子の清浄度要求に対応します。焼結金属マトリックスは機械的に安定しており、繊維や結合剤がなく、溶脱のリスクもありません。固体焼結構造は、織布や繊維メディアと比較して、粒子付着のための表面積を最小限に抑えます。.
FILTURE サプライ SS 316L焼結フィルターエレメント 半導体プロセスガス供給、化学薬品供給、CMPスラリーろ過用。DI水ポリッシングループおよびガス拡散用途には、弊社の 焼結多孔質ディスクとチューブ 管理された供給を行います。クリティカルな用途向けには、要求に応じてクリーンな梱包および粒子数検査が可能です。.
ハウジングの寸法は、〜によって厳密に管理されています 焼結後精密加工, 、そして各バッチは～と一緒に出荷できます 粒子数および材料試験報告書 ファブ認定記録用.
窒素、アルゴン、水素、特殊ガス供給ラインの焼結ステンレス製インラインフィルター。プロセスチャンバー、成膜装置、エッチングシステムに到達する粒子を制限する、精密に制御された細孔径のバリア。.
0.5～5 µm・低マイグレーションリスク化学機械研磨スラリー供給のオンデマンドろ過—過剰な研磨粒子を研磨パッドに到達する前に除去し、ウェーハ表面のマイクロスクラッチ欠陥を防止すること。.
0.5〜2 µm · 耐摩耗性SSH₂O₂、HF、その他のウェットプロセス化学品供給システムにおける焼結ステンレス鋼フィルター — ウェーハウェットクリーニングツールおよびエッチングバスの上流での微粒子除去。.
1～5 µm ・耐薬品性SSまたはTiクリーンルームのHVACおよびメイクアップエアシステムにおける金属製プレフィルター — HEPAおよびULPAフィルターバンクを粗粒子負荷から保護し、最終フィルターのサービス間隔を延長します。.
5〜50 µm・ステンレス鋼・長寿命焼結ステンレス鋼エレメント（脱イオン水分配ループにおける使用点フィルターとして） — 洗浄およびすすぎ作業で水がウェーハ表面に接触する前に、粒子とバイオバーデンを除去する。.
0.22～1 µm · DI対応拡散炉および酸化炉におけるガス入口焼結フィルター — デバイスのリークを引き起こす金属汚染がいかなるものであっても、管状炉における超純粋N₂およびO₂雰囲気の維持。.
0.5～2 µm・高純度・アウトガスなし重要半導体用途向けに、管理されたパッケージオプションおよび粒子数試験報告書をご要望に応じてご用意いたします。.
ガス拡散・分配用フラット焼結プレート、電極基板、フィルターメディアブランク — お客様のプロセスツールやチャンバー治具の寸法に合わせてカットいたします。.
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超純粋プロセスガスライン用特殊ガス拡散・ろ過媒体、高流速・低圧力損失を実現する高多孔性焼結チタン繊維フェルト.
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半導体プロセスツールにおけるガス導入および均一なガス分配用の焼結多孔質ディスク — アクティブプロセスエリア全体にわたる気泡のない層流ガスフローを提供します。.
詳細を見る焼結ステンレス鋼は、ろ過体内にゆるんだ繊維層やバインダー樹脂のない、固体で剛性の高い構造です。織布やポリマーベースの媒体と比較して、焼結マトリックスは、粒子放出のリスクが低いことが重要な場合に選択されることがよくあります。.
焼結ステンレス鋼は、機械的に結合された固体マトリックスであり、ろ過本体に遊離繊維、バインダー樹脂、ポリマー層はありません。金属マトリックスは、通常の動作条件下、圧力サイクリング中、または熱的変動中にろ過流に粒子を放出することはありません。.
バブル分布分析は、フィルター表面全体の気孔径分布を記録したもので、ご要望に応じて提供可能です。寸法記録および材料証明書も提供されます。個別のトレーサビリティを必要とする半導体プロセスエンジニアは、完全なドキュメントパッケージをリクエストできます。.
"FILTURE Ti多孔質ディスクをDI水ポリッシングループに設置した後、最初の数百時間の運転で、下流の清浄度がより安定し、管理しやすくなりました。.
ファブプロセスエンジニア 半導体メーカー・台湾
"リソグラフィープロセスには、汚染のないろ過が必要でした。Ti素子表面はXRFで検証され、鉄の溶出は検出されませんでした。クリーンルーム対応のパッケージングにより、受け入れ検査は容易でした。.
クリーンルームエンジニア ファブ・イクイップメント・カンパニー・ジャパン
