INDUSTRIEL ANVENDELSE

Halvledere og elektronik

Sintermetalfiltre til procesgas, DI-vand og udvalgte procesvæsker. Materiale og konstruktion vurderes ud fra kemi, renhedsmål, partikelgrænse, tryk, temperatur og rengøring.

INDUSTRIEL ANVENDELSE

Halvledere og elektronik

Filtrering af procesgas

Sintermetalfiltre til procesgas, DI-vand og udvalgte procesvæsker. Materiale og konstruktion vurderes ud fra kemi, renhedsmål, partikelgrænse, tryk, temperatur og rengøring.

DI-vand og CMP-slam

Sintermetalfiltre til procesgas, DI-vand og udvalgte procesvæsker. Materiale og konstruktion vurderes ud fra kemi, renhedsmål, partikelgrænse, tryk, temperatur og rengøring.

Forfiltrering i renrum

Sintermetalfiltre til procesgas, DI-vand og udvalgte procesvæsker. Materiale og konstruktion vurderes ud fra kemi, renhedsmål, partikelgrænse, tryk, temperatur og rengøring.

Specificer et filter til halvlederprocesser

Specificer ikke HF- eller fluoridholdige medier uden dokumenteret vurdering af materialekompatibilitet.
Fastlæg partikelgrænse, ren emballering og testmetode på forhånd.
Aftal dokumentation pr. batch til kritiske anvendelser.

Specificer et filter til halvlederprocesser

Send medie, renhedsmål, flow, tryk, temperatur og påkrævet dokumentation.