INDUSTRIELE TOEPASSING

Halfgeleiders en elektronica

Gesinterde metaalfilters voor procesgas, DI-water en geselecteerde procesvloeistoffen. Materiaal en constructie worden beoordeeld op chemie, reinheidsdoel, deeltjeslimiet, druk, temperatuur en reiniging.

INDUSTRIELE TOEPASSING

Halfgeleiders en elektronica

Filtratie van procesgas

Gesinterde metaalfilters voor procesgas, DI-water en geselecteerde procesvloeistoffen. Materiaal en constructie worden beoordeeld op chemie, reinheidsdoel, deeltjeslimiet, druk, temperatuur en reiniging.

DI-water en CMP-slurry

Gesinterde metaalfilters voor procesgas, DI-water en geselecteerde procesvloeistoffen. Materiaal en constructie worden beoordeeld op chemie, reinheidsdoel, deeltjeslimiet, druk, temperatuur en reiniging.

Voorfiltratie van cleanrooms

Gesinterde metaalfilters voor procesgas, DI-water en geselecteerde procesvloeistoffen. Materiaal en constructie worden beoordeeld op chemie, reinheidsdoel, deeltjeslimiet, druk, temperatuur en reiniging.

Een filter voor halfgeleiderprocessen specificeren

Specificeer HF- of fluoridehoudende media niet zonder gedocumenteerde materiaalcompatibiliteitsbeoordeling.
Leg deeltjeslimiet, schone verpakking en testmethode vooraf vast.
Spreek voor kritische toepassingen documentatie per batch af.

Een filter voor halfgeleiderprocessen specificeren

Stuur medium, reinheidsdoel, debiet, druk, temperatuur en benodigde documentatie.

Offerte aanvragen