산업 적용
반도체 및 전자 제조
공정 가스, DI수 및 선정된 공정 유체용 소결 금속 필터입니다. 재질과 구조는 화학 조성, 청정도 목표, 입자 한계, 압력, 온도 및 세정 조건에 따라 검토합니다.
산업 적용
반도체 및 전자 제조
공정 가스 여과
공정 가스, DI수 및 선정된 공정 유체용 소결 금속 필터입니다. 재질과 구조는 화학 조성, 청정도 목표, 입자 한계, 압력, 온도 및 세정 조건에 따라 검토합니다.
DI수 및 CMP 슬러리
공정 가스, DI수 및 선정된 공정 유체용 소결 금속 필터입니다. 재질과 구조는 화학 조성, 청정도 목표, 입자 한계, 압력, 온도 및 세정 조건에 따라 검토합니다.
클린룸 전처리
공정 가스, DI수 및 선정된 공정 유체용 소결 금속 필터입니다. 재질과 구조는 화학 조성, 청정도 목표, 입자 한계, 압력, 온도 및 세정 조건에 따라 검토합니다.
반도체 공정용 필터 선정
HF 또는 불소계 유체는 문서화된 재질 적합성 검토 없이 지정하지 마십시오.
입자 한계, 청정 포장 및 시험 방법을 사전에 정의하십시오.
중요 용도는 로트별 문서를 합의하십시오.
반도체 공정용 필터 선정
유체, 청정도 목표, 유량, 압력, 온도 및 필요한 문서를 보내 주십시오.