Ultraschone gesinterde metalen filterelementen voor procesgasaanvoer, chemisch-mechanische polijstslurry en cleanroomomgevingscontrole — waar een enkel metaaldeeltje boven de kritische afmeting de beoogde spaanopbrengst tenietdoet.
Naarmate de afmetingen van halfgeleidercomponenten kleiner worden, neemt ook de tolerantie voor deeltjesverontreiniging af. Bij procesgas en gedemineraliseerd water worden filterelementen geselecteerd op basis van een stabiele poriënstructuur, schone oppervlakken en een laag risico op migratie van het filtermateriaal tijdens bedrijf.
Gesinterde roestvrijstalen filterelementen voldoen aan de eisen voor deeltjeszuiverheid. De gesinterde metaalmatrix is mechanisch stabiel – geen vezels, geen bindmiddelen, geen risico op migratie. De solide gesinterde structuur minimaliseert het oppervlak voor deeltjesaanhechting in vergelijking met geweven of vezelachtige filtermedia.
FILTURE-benodigdheden Gesinterde filterelementen van roestvrij staal 316L Voor de toevoer van procesgassen in de halfgeleiderindustrie, chemische distributie en CMP-slurryfiltratie. Voor DI-waterpolijstcircuits en gasdiffusietoepassingen. gesinterde poreuze schijven en buizen Zorg voor gecontroleerde distributie. Schone verpakkingen en deeltjestellingstests zijn op aanvraag beschikbaar voor kritische toepassingen.
De afmetingen van de behuizing worden binnen zeer nauwe toleranties gehouden. precisiebewerking na het sinterenen elke batch kan verzonden worden met rapporten over deeltjestelling en materiaaltesten voor fab-kwalificatiegegevens.
Gesinterde roestvrijstalen inlinefilters op N₂-, Ar-, H₂- en speciale gasdistributieleidingen — een nauwkeurig gecontroleerde poriegroottebarrière die voorkomt dat deeltjes proceskamers, afzettingsapparatuur en etssystemen bereiken.
0,5–5 µm · Laag migratierisicoFiltratie op het gebruikspunt van de slurry voor chemisch-mechanisch polijsten — het verwijderen van te grote schuurdeeltjes voordat ze de polijstschijf bereiken en microkrasjes op het waferoppervlak veroorzaken.
0,5–2 µm · Slijtvast roestvrij staalGesinterde SS-filters op H₂O₂, HF en andere chemische toevoersystemen voor natte processen — verwijdering van fijne deeltjes vóór de natte reinigingsapparatuur en etsbaden voor wafers.
1–5 µm · Chemisch bestendig roestvrij staal of titaniumMetalen voorfilters in HVAC- en toevoerluchtsystemen van cleanrooms — die HEPA- en ULPA-filters beschermen tegen grove deeltjes en de onderhoudsintervallen van de eindfilters verlengen.
5–50 µm · Roestvrij staal · Lange levensduurGesinterde roestvrijstalen elementen als filters op de gebruiksplaats in distributiecircuits voor gedemineraliseerd water — die deeltjes en biologische vervuiling verwijderen voordat het water in contact komt met de waferoppervlakken tijdens reinigings- en spoelprocessen.
0,22–1 µm · DI-compatibelGesinterde gasinlaatfilters op diffusie- en oxidatieovens – voor het handhaven van een ultrazuivere N₂- en O₂-atmosfeer in buisovens waar elke metaalverontreiniging lekkage van het apparaat veroorzaakt.
0,5–2 µm · Hoge zuiverheid · Geen ontgassingVoor kritische halfgeleidertoepassingen zijn op aanvraag gecontroleerde verpakkingsopties en rapporten over de deeltjestelling beschikbaar.
Platte gesinterde platen voor gasdiffusie- en distributieapparatuur, elektrodesubstraten en filtermedia-blanks — op maat gesneden voor uw procesgereedschap of kamerinrichting.
Bekijk details
Hoogporeus gesinterd titaniumvezelvilt voor speciale gasdiffusie- en filtratiemedia in ultrazuivere procesgasleidingen, met een lage drukval bij hoge debieten.
Bekijk details
Gesinterde poreuze schijven voor gasinjectie en uniforme gasverdeling in halfgeleiderprocesapparatuur — zorgen voor een belvrije, laminaire gasstroom door het actieve procesgebied.
Bekijk detailsGesinterd roestvrij staal is een solide, stijve structuur zonder losse vezellagen of bindhars in het filterlichaam. In vergelijking met geweven of polymeergebaseerde media wordt de gesinterde matrix vaak gekozen wanneer een laag risico op deeltjesafgifte belangrijk is.
Gesinterd roestvrij staal is een mechanisch gebonden, vaste matrix — geen losse vezels, geen bindmiddelhars en geen polymeerlaag in het filterlichaam. De metalen matrix laat onder normale bedrijfsomstandigheden, bij drukwisselingen of temperatuurschommelingen geen deeltjes los in de filtraatstroom.
Een analyse van de bubbelverdeling is op aanvraag beschikbaar, waarbij de poriegrootteverdeling over het filteroppervlak wordt gedocumenteerd. Dimensionale gegevens en materiaalcertificaten worden verstrekt; halfgeleiderprocesingenieurs die individuele traceerbaarheid nodig hebben, kunnen het volledige documentatiepakket aanvragen.
"Na het installeren van poreuze FILTURE Ti-schijven in ons DI-waterzuiveringssysteem werd de waterzuiverheid stroomafwaarts stabieler en gemakkelijker te beheren gedurende de eerste paar honderd bedrijfsuren.
Fab Process Engineer Halfgeleiderfabrikant · Taiwan
"We hadden een contaminatievrije filtratie nodig voor een lithografieproces. Het oppervlak van het Ti-element werd gecontroleerd met XRF – geen detecteerbare ijzeruitloging. De cleanroom-conforme verpakking maakte de binnenkomende inspectie eenvoudig.
Cleanroomingenieur Fab Equipment Company · Japan
Geef uw gastype, werkdruk, gewenste poriegrootte en eisen aan de oppervlaktereinheid door. Wij bevestigen dan de materiaalkwaliteit, verpakkingsopties en de beschikbaarheid van deeltjestellingstests.
