Elementos filtrantes de metal sinterizado ultralimpos para fornecimento de gases de processo, pasta de polimento químico-mecânico e controle de ambientes de salas limpas — onde uma única partícula de metal acima da dimensão crítica compromete a meta de rendimento de cavacos.
À medida que as dimensões dos componentes semicondutores diminuem, a tolerância à contaminação por partículas também se reduz. Em aplicações com gases de processo e água deionizada, os elementos filtrantes são selecionados por sua estrutura de poros estável, superfícies limpas e baixo risco de migração do meio filtrante durante a operação.
Os elementos filtrantes de aço inoxidável sinterizado atendem ao requisito de limpeza de partículas. A matriz metálica sinterizada é mecanicamente estável — sem fibras, sem aglutinantes, sem risco de migração. A estrutura sólida sinterizada minimiza a área de superfície para adesão de partículas em comparação com meios filtrantes tecidos ou fibrosos.
Suprimentos FILTURE Elementos filtrantes sinterizados em aço inoxidável 316L Para fornecimento de gases de processo em semicondutores, distribuição de produtos químicos e filtração de pasta de polimento químico-mecânico (CMP). Para circuitos de polimento com água deionizada e aplicações de difusão de gases, nosso discos e tubos porosos sinterizados Fornecemos distribuição controlada. Embalagens limpas e testes de contagem de partículas estão disponíveis mediante solicitação para aplicações críticas.
As dimensões das habitações são mantidas dentro de tolerâncias rigorosas. usinagem de precisão pós-sinterizaçãoe cada lote pode ser enviado com relatórios de contagem de partículas e testes de materiais para registros de qualificação de fábrica.
Filtros em linha de aço inoxidável sinterizado para linhas de distribuição de N₂, Ar, H₂ e gases especiais — uma barreira com tamanho de poro rigorosamente controlado que limita a chegada de partículas às câmaras de processo, ferramentas de deposição e sistemas de corrosão.
0,5–5 µm · Baixo risco de migraçãoFiltragem no ponto de uso na distribuição da pasta de polimento químico-mecânico — remoção de partículas abrasivas de tamanho excessivo antes que elas atinjam a almofada de polimento e causem defeitos de microarranhões nas superfícies dos wafers.
0,5–2 µm · Aço inoxidável resistente à abrasãoFiltros de aço inoxidável sinterizado em sistemas de fornecimento de H₂O₂, HF e outros produtos químicos para processos úmidos — remoção de partículas finas a montante de ferramentas de limpeza úmida de wafers e banhos de corrosão.
1–5 µm · Aço inoxidável ou titânio resistente a produtos químicosPré-filtros metálicos em sistemas de climatização e de ar de reposição para salas limpas — protegendo os bancos de filtros HEPA e ULPA do acúmulo de partículas grossas, prolongando os intervalos de manutenção dos filtros finais.
5–50 µm · Aço inoxidável · Longa vida útilElementos de aço inoxidável sinterizado como filtros de ponto de uso em circuitos de distribuição de água deionizada — removendo partículas e carga biológica antes que a água entre em contato com as superfícies dos wafers durante as operações de limpeza e enxágue.
0,22–1 µm · Compatível com DIFiltros sinterizados de entrada de gás em fornos de difusão e oxidação — mantendo uma atmosfera ultrapura de N₂ e O₂ em fornos tubulares onde qualquer contaminação metálica causa vazamento do dispositivo.
0,5–2 µm · Alta pureza · Sem desgaseificaçãoOpções de embalagem controlada e relatórios de testes de contagem de partículas estão disponíveis mediante solicitação para aplicações críticas em semicondutores.
Placas planas sinterizadas para dispositivos de difusão e distribuição de gás, substratos de eletrodos e peças brutas para meios filtrantes — cortadas nas dimensões da sua ferramenta de processo ou dispositivo de fixação da câmara.
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Feltro de fibra de titânio sinterizado de alta porosidade para difusão de gases especiais e meios de filtração em linhas de gases de processo ultrapuros, com baixa perda de pressão em altas taxas de fluxo.
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Discos porosos sinterizados para borbulhamento de gás e distribuição uniforme de gás em ferramentas de processamento de semicondutores — proporcionando fluxo de gás laminar e sem bolhas em toda a área ativa do processo.
Ver detalhesO aço inoxidável sinterizado é uma estrutura sólida e rígida, sem camadas soltas de fibras ou resina aglutinante no corpo de filtração. Comparado com meios filtrantes tecidos ou à base de polímeros, a matriz sinterizada é frequentemente escolhida quando o baixo risco de liberação de partículas é importante.
O aço inoxidável sinterizado é uma matriz sólida ligada mecanicamente — sem fibras soltas, resina aglutinante ou camada de polímero no corpo de filtração. A matriz metálica não libera partículas no fluxo de filtrado sob condições normais de operação, ciclos de pressão ou variações térmicas.
A análise da distribuição de bolhas está disponível mediante solicitação, documentando a distribuição do tamanho dos poros na superfície do filtro. Registros dimensionais e certificações de materiais são fornecidos — engenheiros de processos semicondutores que necessitam de rastreabilidade individual podem solicitar o pacote completo de documentação.
"Após a instalação dos discos porosos de titânio da FILTURE em nosso circuito de polimento de água deionizada, a limpeza a jusante tornou-se mais estável e fácil de gerenciar durante as primeiras centenas de horas de operação.
Engenheiro de Processos de Fabricação Fabricante de semicondutores · Taiwan
"Precisávamos de filtragem livre de contaminação para um processo de litografia. A superfície do elemento de titânio foi verificada por fluorescência de raios X (XRF) — nenhuma lixiviação de ferro detectável. A embalagem, em conformidade com as normas de sala limpa, facilitou a inspeção de recebimento.
Engenheiro de Sala Limpa Empresa de equipamentos de fabricação · Japão
Compartilhe o tipo de gás, a pressão de operação, o tamanho de poro desejado e os requisitos de limpeza da superfície. Confirmaremos a qualidade do material, as opções de embalagem e a disponibilidade de testes de contagem de partículas.
