Éléments filtrants en métal fritté ultra-propres destinés à l'alimentation en gaz de procédé, aux suspensions de polissage chimico-mécanique et au contrôle de l'environnement en salle blanche — où une seule particule métallique dépassant la dimension critique peut compromettre l'objectif de rendement des puces.
À mesure que la taille des composants des semi-conducteurs diminue, la tolérance à la contamination par des particules se réduit également. Dans les applications impliquant des gaz de procédé et de l'eau déminéralisée, les éléments filtrants sont sélectionnés pour leur structure poreuse stable, leurs surfaces propres et leur faible risque de migration du média pendant le fonctionnement.
Les éléments filtrants en acier inoxydable fritté répondent aux exigences de propreté en matière de particules. La matrice métallique frittée est mécaniquement stable : elle ne contient ni fibres, ni liants, et ne présente aucun risque de migration. La structure frittée monolithique réduit au minimum la surface d'adhérence des particules par rapport aux médias tissés ou fibreux.
FILTURE fournit Éléments de filtre fritté SS 316L pour la distribution de gaz dans les processus de semi-conducteurs, la distribution de produits chimiques et la filtration de boues CMP. Pour les boucles de polissage d'eau déionisée et les applications de diffusion de gaz, notre disques et tubes poreux frittés fournir une distribution contrôlée. Un emballage soigné et des tests de comptage de particules sont disponibles sur demande pour les applications critiques.
Les dimensions du logement sont maintenues dans des tolérances étroites grâce à usinage de précision post-frittage, et chaque lot peut être expédié avec rapports de comptage de particules et d'essais sur les matériaux pour les enregistrements de qualification de FAB.
Filtres en ligne en inox fritté sur les lignes de distribution de N₂, Ar, H₂ et de gaz spéciaux — une barrière à porosité étroitement contrôlée limitant les particules atteignant les chambres de traitement, les outils de dépôt et les systèmes de gravure.
0,5–5 µm · Faible risque de migrationFiltration au point d'utilisation sur la distribution de la suspension de polissage mécano-chimique — élimination des particules abrasives surdimensionnées avant qu'elles n'atteignent le tampon de polissage et ne provoquent des défauts de micro-rayures sur les surfaces des plaquettes.
0,5–2 µm · Résistant à l'abrasion SSFiltres en inox fritté sur des systèmes de distribution de produits chimiques en phase aqueuse H₂O₂, HF et autres – élimination des particules fines en amont des outils de nettoyage humide des tranches et des bains de gravure.
1–5 µm · SS ou Ti résistant aux produits chimiquesPréfiltres métalliques sur les systèmes de CVC et d'air de compensation des salles blanches — protection des batteries de filtres HEPA et ULPA contre la charge de particules grossières, prolongeant les intervalles de maintenance des filtres finaux.
5–50 µm · Acier inoxydable · Longue durée de vieÉléments en acier inoxydable fritté comme filtres au point d'utilisation sur les boucles de distribution d'eau déminéralisée – élimination des particules et de la charge microbienne avant que l'eau ne contacte les surfaces des plaquettes lors des opérations de nettoyage et de rinçage.
0,22–1 µm · compatible DIFiltres frittés d'admission de gaz sur fours de diffusion et d'oxydation — maintien d'une atmosphère N₂ et O₂ ultra-pure dans les fours tubulaires où toute contamination métallique provoque des fuites de dispositif.
0,5–2 µm · Haute pureté · Pas de dégazageDes options d'emballage contrôlées et des rapports de test de numération de particules sont disponibles sur demande pour les applications critiques de semi-conducteurs.
Plaques frittées plates pour la diffusion et la distribution de gaz, substrats pour électrodes et ébauches de milieux filtrants — coupées aux dimensions de votre outil de process ou de votre pièce de fixation de chambre.
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Feutre de fibre de titane fritté à haute porosité pour supports de diffusion et filtration de gaz spéciaux dans les lignes de gaz de procédé ultra-purs, avec une faible perte de charge à des débits élevés.
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Disques poreux frittés pour le barbotage de gaz et la distribution uniforme de gaz dans les outils de procédé pour semi-conducteurs — assure un flux de gaz laminaire sans bulles sur la zone de procédé active.
Voir les détailsLe SS fritté est une structure solide et rigide sans couches de fibres lâches ni résine liante dans le corps filtrant. Comparée aux milieux tissés ou à base de polymères, la matrice frittée est souvent sélectionnée lorsque le risque de libération de particules est faible.
Le SS fritté est une matrice solide mécaniquement liée — pas de fibres lâches, pas de résine liante et pas de couche polymère dans le corps filtrant. La matrice métallique ne libère pas de particules dans le flux de filtrat dans des conditions de fonctionnement normales, des cycles de pression ou des excursions thermiques.
L'analyse de la distribution des bulles est disponible sur demande, documentant la distribution de la taille des pores sur la surface du filtre. Les enregistrements dimensionnels et les certifications de matériaux sont fournis – les ingénieurs de procédés des semi-conducteurs qui ont besoin d'une traçabilité individuelle peuvent demander le dossier de documentation complet.
"Après l'installation des disques poreux FILTURE Ti dans notre boucle de polissage d'eau DI, la propreté en aval est devenue plus stable et plus facile à gérer pendant les premières centaines d'heures d'utilisation.
Ingénieur de procédé de fabrication Fabricant de semi-conducteurs · Taïwan
"Nous avions besoin d'une filtration sans contamination pour un procédé de lithographie. La surface de l'élément Ti a été vérifiée par XRF — aucune lixiviation de fer détectable. L'emballage conforme à la salle blanche a simplifié l'inspection à réception.
Ingénieur en salle blanche Fab Equipment Company · Japon
Partagez votre type de gaz, votre pression de fonctionnement, votre taille de pores cible et vos exigences de propreté de surface. Nous confirmerons la qualité du matériau, les options d'emballage et la disponibilité des tests de comptage de particules.
