Ultrarene sintrede metalfilterelementer til procesgaslevering, kemisk-mekanisk poleringsslam og kontrol af renrumsmiljøet — hvor en enkelt metalpartikel over den kritiske dimension dræber et spånudbyttemål.
Efterhånden som størrelsen på halvlederelementer krymper, mindskes tolerancen for partikelforurening også. I procesgas- og deioniseret vand-applikationer vælges filterelementer med henblik på stabil porestruktur, rene overflader og lav risiko for mediemigration under drift.
Sintrede filterelementer i rustfrit stål opfylder kravet om partikelrenhed. Den sintrede metalmatrix er mekanisk stabil — ingen fibre, ingen bindemidler, ingen migrationsrisiko. Den solide sintrede struktur minimerer overfladearealet for partikeladhæsion sammenlignet med vævede eller fiberholdige medier.
FILTURE forsyninger Sintrede filterelementer i SS 316L til levering af halvlederprocesgas, kemisk distribution og CMP-slamfiltrering. Til DI-vandpoleringssløjfer og gasdiffusionsapplikationer, vores sintrede porøse skiver og rør sørge for kontrolleret distribution. Ren emballage og partikeltællingstest er tilgængelig på anmodning til kritiske anvendelser.
Husets dimensioner holdes inden for snævre tolerancer gennem præcisionsbearbejdning efter sintning, og hvert parti kan sendes med partikeltælling og materialetestrapporter for fab-kvalifikationsrekorder.
Sintrede SS inline-filtre på N₂-, Ar-, H₂- og specialgasdistributionsledninger — en tæt kontrolleret porestørrelsesbarriere, der begrænser partiklernes evne til at nå proceskamre, aflejringsværktøjer og ætsesystemer.
0,5–5 µm · Lav migrationsrisikoFiltrering på brugsstedet ved fordeling af kemisk-mekanisk poleringsslam — fjernelse af overdimensionerede slibepartikler, før de når polerpuden og forårsager mikroridsedefekter på waferoverflader.
0,5–2 µm · Slidstærk rustfrit stålSintrede SS-filtre på H₂O₂, HF og andre vådproces-kemiske leveringssystemer — fjernelse af fine partikler opstrøms for vådrengøringsværktøjer til wafere og ætsebade.
1–5 µm · Kemikaliebestandigt rustfrit stål eller TiMetalforfiltre på renrums-HVAC og efterfyldningsluftsystemer — beskytter HEPA- og ULPA-filterbanker mod grov partikelbelastning og forlænger serviceintervallerne for de sidste filtre.
5–50 µm · Rustfrit stål · Lang levetidSintrede SS-elementer som filtre på brugsstedet på distributionskredsløb for deioniseret vand — fjerner partikler og biologisk belastning, før vand kommer i kontakt med waferoverflader under rengørings- og skylningsoperationer.
0,22–1 µm · DI-kompatibelSintrede gasindløbsfiltre på diffusions- og oxidationsovne — opretholdelse af ultraren N₂- og O₂-atmosfære i rørovne, hvor metallisk kontaminering forårsager lækage i enheden.
0,5–2 µm · Høj renhed · Ingen afgasningKontrollerede pakningsmuligheder og partikeltællingstestrapporter er tilgængelige på anmodning til kritiske halvlederapplikationer.
Flade sintrede plader til gasdiffusions- og distributionshardware, elektrodesubstrater og filtermediemner — skåret til dimensionerne af dit procesværktøj eller kammerfikstur.
Se detaljer
Sintret titanfiberfilt med høj porøsitet til specialgasdiffusions- og filtreringsmedier i ultrarene procesgasledninger med lavt tryktab ved høje flowhastigheder.
Se detaljer
Sintrede porøse skiver til gasfordeling og ensartet gasfordeling i halvlederprocesværktøjer — giver boblefri, laminar gasstrømning på tværs af det aktive procesområde.
Se detaljerSintret rustfrit stål er en solid, stiv struktur uden løse fiberlag eller bindemiddelharpiks i filterlegemet. Sammenlignet med vævede eller polymerbaserede medier vælges den sintrede matrix ofte, hvor lav risiko for partikelfrigivelse er vigtig.
Sintret rustfrit stål er en mekanisk bundet fast matrix — ingen løse fibre, ingen bindemiddelharpiks og intet polymerlag i filterhuset. Metalmatrixen afgiver ikke partikler i filtratstrømmen under normale driftsforhold, trykcyklusser eller termisk udsving.
Analyse af boblefordelingen er tilgængelig på anmodning, og dokumenterer porestørrelsesfordelingen på tværs af filteroverfladen. Dimensionsregistreringer og materialecertificeringer leveres — halvlederprocesingeniører, der har brug for individuel sporbarhed, kan anmode om den fulde dokumentationspakke.
"Efter installation af FILTURE Ti porøse skiver i vores DI-vandpoleringskredsløb blev renligheden nedstrøms mere stabil og lettere at håndtere i løbet af de første par hundrede driftstimer.
Fab-procesingeniør Halvlederproducent · Taiwan
"Vi havde brug for kontamineringsfri filtrering til en litografiproces. Ti-elementets overflade blev verificeret med XRF - ingen detekterbar jernudvaskning. Renrumsgodkendt emballage gjorde inspektion af indgående varer enkel.
Renrumsingeniør Fab Equipment Company · Japan
Del din gastype, driftstryk, mål for porestørrelse og krav til overfladerenhed. Vi bekræfter materialekvalitet, emballagemuligheder og tilgængelighed af partikeltællingstest.
