Elementos filtrantes de metal sinterizado ultra limpios para el suministro de gases de proceso, lodos de pulido químico-mecánico y control del entorno de salas blancas, donde una sola partícula de metal que supere la dimensión crítica anula el objetivo de rendimiento de las virutas.
A medida que se reducen las dimensiones de los semiconductores, también disminuye la tolerancia a la contaminación por partículas. En aplicaciones con gases de proceso y agua desionizada, los elementos filtrantes se seleccionan por su estructura de poros estable, superficies limpias y bajo riesgo de migración del medio filtrante durante el funcionamiento.
Los elementos filtrantes de acero inoxidable sinterizado cumplen con el requisito de limpieza de partículas. La matriz metálica sinterizada es mecánicamente estable: no contiene fibras ni aglutinantes, lo que elimina el riesgo de migración. La estructura sólida sinterizada minimiza la superficie de adhesión de partículas en comparación con los medios tejidos o fibrosos.
Suministros FILTURE Elementos filtrantes sinterizados de acero inoxidable 316L para el suministro de gases de proceso de semiconductores, distribución de productos químicos y filtración de lodos CMP. Para bucles de pulido de agua desionizada y aplicaciones de difusión de gases, nuestra discos y tubos porosos sinterizados Garantizamos una distribución controlada. Para aplicaciones críticas, ofrecemos servicios de envasado limpio y análisis de recuento de partículas bajo petición.
Las dimensiones de la carcasa se mantienen dentro de tolerancias estrictas mediante mecanizado de precisión posterior a la sinterizacióny cada lote puede enviarse con Informes de recuento de partículas y pruebas de materiales para registros de cualificación de fabricación.
Filtros en línea de acero inoxidable sinterizado en líneas de distribución de N₂, Ar, H₂ y gases especiales: una barrera con un tamaño de poro estrictamente controlado que limita el paso de partículas a las cámaras de procesamiento, las herramientas de deposición y los sistemas de grabado.
0,5–5 µm · Bajo riesgo de migraciónFiltración en el punto de uso para la distribución de la suspensión de pulido químico-mecánico: eliminación de partículas abrasivas de gran tamaño antes de que lleguen a la almohadilla de pulido y provoquen microarañazos en la superficie de las obleas.
0,5–2 µm · Acero inoxidable resistente a la abrasiónFiltros de acero inoxidable sinterizado en sistemas de suministro de H₂O₂, HF y otros productos químicos para procesos húmedos: eliminación de partículas finas antes de las herramientas de limpieza húmeda de obleas y los baños de grabado.
1–5 µm · Acero inoxidable o titanio resistente a productos químicosPrefiltros metálicos en sistemas de climatización y de suministro de aire para salas blancas: protegen los bancos de filtros HEPA y ULPA de la acumulación de partículas gruesas, lo que prolonga los intervalos de mantenimiento del filtro final.
5–50 µm · Acero inoxidable · Larga vida útilElementos de acero inoxidable sinterizado como filtros de punto de uso en circuitos de distribución de agua desionizada, que eliminan partículas y residuos biológicos antes de que el agua entre en contacto con las superficies de las obleas en las operaciones de limpieza y enjuague.
0,22–1 µm · Compatible con DIFiltros sinterizados de entrada de gas en hornos de difusión y oxidación: mantienen una atmósfera ultrapura de N₂ y O₂ en hornos tubulares donde cualquier contaminación metálica provoca fugas en los dispositivos.
0,5–2 µm · Alta pureza · Sin desgasificaciónPara aplicaciones críticas en el sector de los semiconductores, se ofrecen opciones de embalaje controlado e informes de pruebas de recuento de partículas bajo petición.
Placas planas sinterizadas para dispositivos de difusión y distribución de gases, sustratos para electrodos y placas en blanco para medios filtrantes, cortadas a las dimensiones de su herramienta de proceso o accesorio de cámara.
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Fieltro de fibra de titanio sinterizado de alta porosidad para medios de difusión y filtración de gases especiales en líneas de gas de proceso ultrapuro, con baja caída de presión a altos caudales.
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Discos porosos sinterizados para la inyección de gas y la distribución uniforme del mismo en herramientas de procesamiento de semiconductores, que proporcionan un flujo de gas laminar y sin burbujas en toda el área de proceso activa.
Ver detallesEl acero inoxidable sinterizado (SS) presenta una estructura sólida y rígida, sin capas de fibras sueltas ni resina aglutinante en el cuerpo filtrante. En comparación con los medios tejidos o a base de polímeros, la matriz sinterizada se suele elegir cuando el riesgo de liberación de partículas es bajo.
El acero inoxidable sinterizado es una matriz sólida unida mecánicamente; no contiene fibras sueltas, resina aglutinante ni capa de polímero en el cuerpo del filtro. La matriz metálica no desprende partículas al flujo de filtrado en condiciones normales de funcionamiento, ciclos de presión o variaciones de temperatura.
For porous gas-distribution plates, Bubble Distribution analysis can document bubble uniformity across the effective surface together with requested test-condition pressure-drop records. Dimensional records and material certifications are available for traceability.
"Tras instalar los discos porosos FILTURE Ti en nuestro circuito de pulido de agua desionizada, la limpieza del agua de salida se volvió más estable y fácil de gestionar durante las primeras cientos de horas de funcionamiento.
Ingeniero de procesos de fabricación Fabricante de semiconductores · Taiwán
"Necesitábamos una filtración libre de contaminación para un proceso de litografía. La superficie del elemento de titanio se verificó mediante XRF, sin detectarse lixiviación de hierro. El embalaje apto para salas blancas facilitó la inspección de entrada.
Ingeniero de salas blancas Fab Equipment Company · Japón
Indíquenos el tipo de gas, la presión de funcionamiento, el tamaño de poro deseado y los requisitos de limpieza de la superficie. Confirmaremos la calidad del material, las opciones de embalaje y la disponibilidad de pruebas de recuento de partículas.
