عناصر ترشيح معدنية متلبدة فائقة النظافة لتوصيل غازات المعالجة، وملاط التلميع الكيميائي الميكانيكي، والتحكم في بيئة الغرفة النظيفة - حيث يؤدي وجود جسيم معدني واحد فوق البعد الحرج إلى تدمير هدف إنتاج الرقائق.
مع تصغير أحجام مكونات أشباه الموصلات، يقل هامش التسامح مع التلوث بالجسيمات. في تطبيقات الغازات الصناعية والمياه منزوعة الأيونات، تُختار عناصر الترشيح بناءً على بنية مسامية مستقرة، وأسطح نظيفة، وانخفاض خطر انتقال المواد أثناء التشغيل.
تُلبّي عناصر الترشيح المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ المُلبّد متطلبات نظافة الجسيمات. تتميز المصفوفة المعدنية المُلبّدة بثباتها الميكانيكي، فهي خالية من الألياف والمواد الرابطة، وبالتالي لا تُشكّل خطرًا لهجرة الجسيمات. كما تُقلّل البنية الصلبة المُلبّدة من مساحة السطح المُعرّضة لالتصاق الجسيمات مقارنةً بالوسائط المنسوجة أو الليفية.
FILTURE مستلزمات عناصر ترشيح متلبدة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L لتوصيل غازات عمليات أشباه الموصلات، وتوزيع المواد الكيميائية، وترشيح معلقات التلميع الكيميائي الميكانيكي. ولحلقات تلميع المياه منزوعة الأيونات وتطبيقات نشر الغاز، فإن منتجاتنا أقراص وأنابيب مسامية متلبدة توفير توزيع مُتحكم به. تتوفر خدمات التعبئة النظيفة واختبار عدد الجسيمات عند الطلب للتطبيقات الحساسة.
يتم الحفاظ على أبعاد المساكن ضمن هوامش دقيقة من خلال التصنيع الدقيق بعد التلبيدويمكن شحن كل دفعة مع تقارير عدد الجسيمات واختبار المواد للحصول على سجلات تأهيلية ممتازة.
مرشحات SS المتلبدة المدمجة على خطوط توزيع غازات N₂ و Ar و H₂ والغازات الخاصة - حاجز حجم المسام الذي يتم التحكم فيه بإحكام والذي يحد من وصول الجسيمات إلى غرف المعالجة وأدوات الترسيب وأنظمة الحفر.
0.5–5 ميكرومتر · خطر هجرة منخفضالترشيح عند نقطة الاستخدام لتوزيع معجون التلميع الكيميائي الميكانيكي - إزالة جزيئات الكشط كبيرة الحجم قبل أن تصل إلى وسادة التلميع وتسبب عيوب الخدوش الدقيقة على أسطح الرقاقات.
0.5–2 ميكرومتر · فولاذ مقاوم للتآكلمرشحات الفولاذ المقاوم للصدأ المتلبد على H₂O₂ وHF وأنظمة توصيل المواد الكيميائية الأخرى للعمليات الرطبة - إزالة الجسيمات الدقيقة في اتجاه مجرى أدوات التنظيف الرطب للرقاقات وأحواض الحفر.
1-5 ميكرومتر · فولاذ مقاوم للمواد الكيميائية أو تيتانيومالمرشحات المعدنية الأولية في أنظمة التكييف والتهوية في غرف الأبحاث النظيفة وأنظمة الهواء التكميلي - حماية بنوك مرشحات HEPA وULPA من تحميل الجسيمات الخشنة، مما يؤدي إلى إطالة فترات خدمة المرشح النهائي.
5-50 ميكرومتر · فولاذ مقاوم للصدأ · عمر طويلعناصر الفولاذ المقاوم للصدأ المتلبدة كمرشحات عند نقطة الاستخدام في حلقات توزيع المياه منزوعة الأيونات - إزالة الجزيئات والحمل البيولوجي قبل أن تلامس المياه أسطح الرقائق في عمليات التنظيف والشطف.
0.22–1 ميكرومتر · متوافق مع DIمرشحات مدخل الغاز المتلبدة في أفران الانتشار والأكسدة - الحفاظ على جو من النيتروجين والأكسجين فائق النقاء في أفران الأنابيب حيث يتسبب أي تلوث معدني في تسرب الجهاز.
0.5–2 ميكرومتر · نقاء عالٍ · لا ينبعث منه غازتتوفر خيارات التغليف المتحكم بها وتقارير اختبار عدد الجسيمات عند الطلب لتطبيقات أشباه الموصلات الحرجة.
ألواح مسطحة متلبدة لأجهزة نشر وتوزيع الغاز، وركائز الأقطاب الكهربائية، وقوالب وسائط الترشيح - مقطوعة حسب أبعاد أداة المعالجة أو تركيبات الحجرة الخاصة بك.
عرض التفاصيل
لباد ألياف التيتانيوم المتكلس عالي المسامية لوسائط نشر وترشيح الغاز المتخصصة في خطوط غاز العمليات فائقة النقاء، مع انخفاض الضغط عند معدلات التدفق العالية.
عرض التفاصيل
أقراص مسامية متلبدة لضخ الغاز وتوزيع الغاز بشكل موحد في أدوات معالجة أشباه الموصلات - مما يوفر تدفق غاز صفائحي خالٍ من الفقاعات عبر منطقة المعالجة النشطة.
عرض التفاصيلالفولاذ المقاوم للصدأ المتلبد عبارة عن بنية صلبة ومتينة لا تحتوي على طبقات ألياف سائبة أو راتنج رابط في جسم الترشيح. وبالمقارنة مع الوسائط المنسوجة أو القائمة على البوليمر، غالبًا ما يتم اختيار المصفوفة المتلبدة عندما يكون انخفاض خطر إطلاق الجسيمات أمرًا بالغ الأهمية.
الفولاذ المقاوم للصدأ المتلبد عبارة عن مصفوفة صلبة مترابطة ميكانيكيًا - لا تحتوي على ألياف سائبة، ولا راتنج رابط، ولا طبقة بوليمر في جسم الترشيح. لا تتساقط جزيئات من المصفوفة المعدنية في تيار المرشح في ظل ظروف التشغيل العادية، أو دورات الضغط، أو التغيرات الحرارية.
يتوفر تحليل توزيع الفقاعات عند الطلب، حيث يوثق توزيع أحجام المسام على سطح المرشح. كما تُقدم سجلات الأبعاد وشهادات المواد - ويمكن لمهندسي عمليات أشباه الموصلات الذين يحتاجون إلى تتبع فردي طلب حزمة الوثائق الكاملة.
"بعد تركيب أقراص FILTURE Ti المسامية في حلقة تنقية المياه منزوعة الأيونات، أصبحت نظافة المصب أكثر استقرارًا وأسهل في الإدارة خلال المئات الأولى من ساعات التشغيل.
مهندس عمليات التصنيع شركة تصنيع أشباه الموصلات · تايوان
"احتجنا إلى ترشيح خالٍ من التلوث لعملية الطباعة الحجرية. تم التحقق من سطح عنصر التيتانيوم باستخدام مطيافية الأشعة السينية الفلورية (XRF) - ولم يُرصد أي تسرب للحديد. سهّلت العبوات المتوافقة مع معايير غرف التنظيف عملية فحص المواد الواردة.
مهندس غرف نظيفة شركة فاب للمعدات · اليابان
أخبرنا بنوع الغاز، وضغط التشغيل، وحجم المسام المستهدف، ومتطلبات نظافة السطح. سنؤكد لك درجة جودة المواد، وخيارات التغليف، وتوافر اختبار عدد الجسيمات.
